半導體用晶元裝置PPS-8200
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- 半導體用晶元裝置PPS-8200
- ORC
- PPS-8200
- 日本
- 30個工作日
產品均為日本進口，貨期30個工作日，特殊除外
產品詳細介紹
| PPS-8200/8300 6,8,12inchウェハ用モデル |
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■ 2.5D,3Dパッケージ | |||
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| ■ 可変レンズNA機構と等倍Dyson光學系 ■ 52x33mmの大面積露光フィールド ■ 最大8フィールドの効率的なレチクルデザイン ■ 周囲のケミカルとレジストアウトガスから光學系をプロテクト ■ 薄ウェハ?TAIKOウェハ?反りウェハなどに柔軟に対応する搬送系 |
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| ■ 露光波長 | |
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| ■ ウェハ裏面マークでのアライメント機能 ■ ウェハ周辺露光/非露光機能 |
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